電子產(chǎn)品用高純石英砂SJ/T 3228.1-2016——第1部分：技術(shù)條件

中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子產(chǎn)品用高純石英砂》第1部分——技術(shù)條件

標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：SJ/T 3228.1-2016

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行有效

本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部2016年1月15日發(fā)布，2016年6月1是開始實(shí)施。

前言

本系列標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃分下列部分出版：

——SJ/T 3228.1 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第1部分技術(shù)條件；

——SJ/T 3228.2 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第2部分分析方法通則；

——SJ/T 3228.3 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第3部分灼燒失量的測(cè)定；

——SJ/T 3228.4 電子產(chǎn)品用高純石英砂第4部分二氧化硅的測(cè)定；

——SJ/T 3228.5 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第5部分鐵的測(cè)定；

——SJ/T 3228.6 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第6部分銅的測(cè)定；

——SJ/T 3228.7 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第7部分鉻的測(cè)定；

——SJ/T 3228.8 電子產(chǎn)品用高純石英砂 第8部分鋁的測(cè)定；

——SJ/T 3228.10 電子產(chǎn)品用高純石英砂第10部分鉛的測(cè)定。

本部分為第1部分。

本部分按照GB/T 1.1-2009 《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫》給出的規(guī)則編寫。

本部分代替 SJ 3228.1-1989。

本部分與SJ 3228.1-1989相比，主要技術(shù)內(nèi)容變化如下：

a) 增加了引用文件：GB/T 6682《分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法》、GB/T 602《化學(xué)試劑雜質(zhì)測(cè)定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的準(zhǔn)備》、SJ/T 10380-2012《工業(yè)用酸洗石英砂》、GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測(cè)石英砂中痕量元素》、GB/T 8946 《塑料編織袋》、GB/T 8947《復(fù)合塑料編織袋》；

b) 修改了產(chǎn)品分級(jí)，將原來的二個(gè)等級(jí)修改為三個(gè)等級(jí)；

c) 修改了粒度范圍；

d) 雜質(zhì)含量要求中增加了元素鋁、鈣、鈉、鉀、鋰、鎂、鉻、鎳、硼、錳含量項(xiàng)目，刪除了鉛含量、氯含量、灼燒失重，并修改了原有雜質(zhì)元素含量技術(shù)指標(biāo)；

e) 增加了附錄A《石墨爐原子吸收光譜法測(cè)定雜質(zhì)元素含量》；

f) 調(diào)整了檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存的相關(guān)要求。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。本部分由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC 203）提出并歸口。本部分起草單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國(guó)家硅材料深加工產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、東海縣產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)所。

本部分主要起草人：李運(yùn)強(qiáng)、程尚栩、許振午、欒振祥、薄雷明、李建德、馮亞彬、管琪。本部分所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：——SJ 3228.1-1989。

1 范圍

本部分規(guī)定了電子產(chǎn)品用高純石英砂的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。

本部分適用于電子產(chǎn)品用高純石英砂，可用于制造半導(dǎo)體石英器件的管、棒、塊、板、片以及坩堝等器件。

2 規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

GB/T 8946 塑料編織袋

GB/T 8947 復(fù)合塑料編織袋

GB/T 32650 電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測(cè)石英砂中痕量元素

SJ/T 3328.4 電子產(chǎn)品用高純石英砂第4部分二氧化硅的測(cè)定

SJ/T 3328.5 電子產(chǎn)品用高純石英砂第5部分鐵的測(cè)定

SJ/T 3328.6 電子產(chǎn)品用高純石英砂第6部分銅的測(cè)定

SJ/T 3328.7 電子產(chǎn)品用高純石英砂第7部分鉻的測(cè)定

SJ/T 3328.8 電子產(chǎn)品用高純石英砂第8部分鋁的測(cè)定

SJ/T 3328.10 電子產(chǎn)品用高純石英砂第10部分鉛的測(cè)定

SJ/T 10380工業(yè)用酸洗石英砂

3 技術(shù)要求

3.1 外觀

電子產(chǎn)品用高純石英砂為具有一定透明度的白色顆粒，應(yīng)無異色、肉眼可見的雜質(zhì)。

3.2 二氧化硅含量

二氧化硅含量應(yīng)符合表1規(guī)定。

表1 二氧化硅含量

項(xiàng)目	指標(biāo)
	一級(jí)	二級(jí)	三級(jí)
二氧化硅	≥99.9991%	≥99.9990%	≥99.9980%

3.3 粒度

粒徑應(yīng)在70μm~350μm范圍內(nèi)。

3.4 雜質(zhì)元素含量

雜質(zhì)元素含量應(yīng)符合表2規(guī)定。

表2 雜質(zhì)元素含量

雜質(zhì)元素	允許含量
	一級(jí)	二級(jí)	三級(jí)
鋁（Al）	≤8.00	≤8.00	≤16.00
鈣（Ca）	≤0.50	≤0.60	≤0.80
鐵（Fe）	≤0.15	≤0.30	≤0.30
鈉（Na）	≤0.10	≤0.60	≤0.90
鉀（K）	≤0.10	≤0.50	≤0.60
鋰（Li）	≤0.30	≤0.50	≤0.90
鎂（Mg）	≤0.50	≤0.10	≤0.20
鉻（Cr）	≤0.50	≤0.05	≤0.05
鎳（Ni）	≤0.50	≤0.05	≤0.05
硼（B）	≤0.04	≤0.06	≤0.08
錳（Mn）	≤0.05	≤0.05	≤0.05
銅（Cu）	≤0.02	≤0.03	≤0.05

4 檢驗(yàn)方法

4.1 外觀

光照度不低于300Lx，距離試樣0.5m處目視檢查電子工業(yè)用高純石英砂的外觀。

4.2 二氧化硅含量

二氧化硅含量按照SJ/T 3228.4的規(guī)定進(jìn)行測(cè)定。

4.3 粒度

粒度按照SJ/T 10380的規(guī)定進(jìn)行測(cè)定。

4.4 雜質(zhì)元素含量

4.4.1 鐵元素含量的測(cè)定按照SJ/T 3228.5中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測(cè)石英砂中痕量元素》進(jìn)行，仲裁時(shí)按照SJ/T 3228.5 中石墨爐原子吸收光譜法進(jìn)行。

4.4.2 銅元素含量的測(cè)定按照SJ/T 3328.6 中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測(cè)石英砂中痕量元素》進(jìn)行，仲裁時(shí)按照SJ/T 3328.6中石墨爐原子吸收光譜法進(jìn)行。

4.4.3 鉻元素含量的測(cè)定按照SJ/T 3228.7中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測(cè)石英砂中痕量元素》進(jìn)行，仲裁時(shí)按照SJ/T 3228.7中石墨爐原子吸收光譜法進(jìn)行。

4.4.4 鋁元素含量的測(cè)定按照SJ/T 3228.8中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測(cè)石英砂中痕量元素》進(jìn)行，仲裁時(shí)按照SJ/T 3228.8中石墨爐原子吸收光譜法進(jìn)行。

4.4.5 鈣、鈉、鉀、鋰、鎂、鎳、硼、錳元素含量的測(cè)定按照附錄A或GB/T 32650《電感耦合等離子質(zhì)譜法檢測(cè)石英砂中痕量元素》進(jìn)行，仲裁時(shí)按照附錄A進(jìn)行。

5 檢驗(yàn)規(guī)則

5.1 檢驗(yàn)分類

電子工業(yè)用高純石英砂的檢驗(yàn)分為型式檢驗(yàn)和質(zhì)量一致性檢驗(yàn)。

5.2 型式檢驗(yàn)

5.2.1 通則

出現(xiàn)下列情況之一時(shí)應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：

a) 新產(chǎn)品或者產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)的試制定型鑒定；

b) 正式生產(chǎn)后，如原材料、工藝或設(shè)備有較大改變、可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；

c) 停產(chǎn)6個(gè)月以上恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；

d) 出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差異時(shí)；

e) 國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出進(jìn)行型式檢驗(yàn)要求時(shí)；

f) 有關(guān)部門或用戶提出進(jìn)行型式檢驗(yàn)的要求時(shí)。

5.2.2 檢驗(yàn)樣本

型式檢驗(yàn)的樣本在產(chǎn)品中隨機(jī)抽取。

5.2.3 檢驗(yàn)項(xiàng)目

型式檢驗(yàn)項(xiàng)目包括外觀、粒度、二氧化硅含量以及雜質(zhì)元素含量。

5.2.4 合格判定

所有檢驗(yàn)項(xiàng)目中若有一項(xiàng)檢驗(yàn)結(jié)果不合格，則不予批準(zhǔn)型式檢驗(yàn)合格。

5.3 質(zhì)量一致性檢驗(yàn)筑

5.3.1 通則

質(zhì)量一致性檢驗(yàn)為逐批檢驗(yàn)。

5.3.2 組批

以相同原料、相同工藝連續(xù)生產(chǎn)并一次提交的產(chǎn)品構(gòu)成一個(gè)檢驗(yàn)批，最大批量不超20000kg。

5.3.3 抽樣

每批產(chǎn)品應(yīng)在總包裝單元的5%中抽樣，抽樣包裝單元數(shù)量應(yīng)不小于10個(gè)，當(dāng)批量小于10個(gè)包裝單元時(shí)應(yīng)逐包抽樣。取樣適量，混勻充分，用四分法縮分，縮分再2kg，裝入潔凈容器內(nèi)。經(jīng)縮分的樣品，在100℃的干燥箱中干燥30min，置于磨口瓶中保存。

5.3.4 檢驗(yàn)項(xiàng)目

質(zhì)量一致性檢驗(yàn)項(xiàng)目包括外觀、粒度、雜質(zhì)元素含量。

5.4 合格判定

所有檢驗(yàn)項(xiàng)目中，若有一項(xiàng)檢驗(yàn)結(jié)果不合格，則判該批產(chǎn)晶不合格。不合格產(chǎn)品由供需雙方協(xié)商處理。

6 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存

6.1 標(biāo)志

產(chǎn)品包裝上應(yīng)有牢固清晰的標(biāo)志，內(nèi)容至少應(yīng)包括：

a) 產(chǎn)品名稱；

b) 等級(jí)規(guī)格；

c) 凈質(zhì)量；

d) 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；

e) 生產(chǎn)單位；

f) 廠址；

g) 生產(chǎn)日期；

h) 批號(hào)。

6.2 包裝

6.2.1 產(chǎn)品應(yīng)密封包裝，封口應(yīng)結(jié)實(shí)，防止污染。

6.2.2 應(yīng)采用2層包裝，內(nèi)層為塑料薄膜袋，外層為塑料編織袋，塑料編織袋應(yīng)符合GB/T 8946、GB/T8947的規(guī)定。

6.2.3 若用戶對(duì)產(chǎn)品包裝有特殊要求，應(yīng)由供需雙方協(xié)商解決。

6.3 運(yùn)輸

產(chǎn)品運(yùn)輸過程中，不應(yīng)與污染物及其它易損物品混裝，不應(yīng)有劇烈的振動(dòng)或撞擊，應(yīng)有防雨、防曬措施。

6.4 貯存

產(chǎn)品應(yīng)在空氣流通、無粉塵的倉(cāng)庫(kù)內(nèi)儲(chǔ)存，防止曝曬、雨淋、污染、潮濕。